循环 通过循环使用，节约水的消耗，从而实现节能减排。
1）水量平衡诊断
2）加熱分解
3）CMP清洗／浆料回収
4）BG、切割液、廃水回収
5）廃薬品再利用
6）廃活性炭再利用
7）冷却水高濃縮運転
8）冷却水回收
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