硅是地球上储藏最丰富的材料之一，单晶硅也称硅单晶，是电子信息材料中最基础性材料，属半导体材

料类。单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。利用单晶硅的性质制造生产工艺用超纯水设备。

工艺流程

预处理系统-反渗透系统

水质标准

国家电子级纯水标准

单晶硅纯水机工艺流程

● 预处理系统-反渗透系统-粗混床-精混床-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)

● 预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)

● 预处理-一级反渗透-二级反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM) (新工艺)

● 预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)(新工艺)

● 预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)

● 预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精密过滤器-用水对象 (≥5MΩ.CM)(传统工艺)

单晶硅纯水机水质标准

国家电子级纯水标准

单晶硅纯水机设备要求

为达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。在工艺设计上，取达到国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统(EDI电除盐系统)等。 系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，具有更高的性价比和设备可靠性。

单晶硅纯水机处理系统

①混床离子交换纯化柱

②EDI装置

③除热原超滤膜

④紫外线杀菌灯与TOC紫外消解器

⑤终端过滤器